ЧТО ТАКОЕ ГРАДИЕНТНАЯ ТРУБЧАТАЯ ПЕЧЬ?
Градиентная трубчатая печь является раскладной трубчатой печью с несколькими зонами нагрева, оснащенной барьерами между зонами. Барьеры представляют собой части изоляции, которые помещаются между каждым модулем нагревательного элемента и помогают уменьшить количество теплопередачи между зонами нагрева.
КАК КОНТРОЛИРУЮТСЯ ГРАДИЕНТЫ В ГРАДИЕНТНОЙ ТРУБЧАТОЙ ПЕЧИ?
Каждая зона нагрева управляется собственным независимым регулятором температуры, поэтому в каждой зоне можно устанавливать разные температуры. Барьеры уменьшают количество теплопередачи между зонами, повышая общий контроль и позволяя оператору создавать температурный градиент по всей длине нагревательной зоны, например, зона 1: 500°C, зона 2: 450°C, зона 3: 400°C.
ДЛЯ КАКИХ ПРИМЕНЕНИЙ НУЖНА ГРАДИЕНТНАЯ ТРУБЧАТАЯ ПЕЧЬ?
Существует множество применений, требующих градиентной трубчатой печи, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), в котором вещество испаряется в самой горячей зоне и транспортируется по рабочей трубке с помощью газа-носителя, а затем конденсируется на подложке в самой холодной зоне. Градиентные трубчатые печи идеально подходят для этого процесса, поскольку каждый конец печи может работать при разной температуре с градиентом температуры между ними.