■ Malvern Panalytical Zetium - Рентгенофлуоресцентный волнодисперсионный спектрометр с опцией энергодисперсионного детектора. Новейшая и революционная разработка компании Malvern Panalytical обеспечивает высокоточный и быстрый анализ химического состава любых материалов от Be до U.
■ Malvern Panalytical Axios FAST Промышленный рентгенофлуоресцентный волновой спектрометр параллельного типа для экспресс-анализа химического состава. Спектрометр Axios FAST - самый быстродействующий параллельный WDXRF спектрометр в мире.
■ Malvern Panalytical Epsilon 1 - Рентгенофлуоресцентный энергодисперсионный настольный спектрометр для анализа химического состава от Na до Am.
■ Спектрометры Malvern Panalytical серии Epsilon 4 - многофункциональный настольный рентгенофлуоресцентный спектрометр для любого сегмента промышленности, требующего элементного анализа от фтора (F) до америция (Am) в сферах от исследований и разработок до контроля технологических процессов.
■ Malvern Panalytical 2830 ZT - Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр для анализа тонких пленок. Разработан специально для полупроводниковой промышленности, позволяет определять состав покрытия, толщину покрытия, однородность покрытия для широкого диапазона полупроводниковых пластин толщиной до 300 мм.
■ Malvern Panalytical Epsilon Xflow - рентгеновский спектрометр для анализа жидкостей. Epsilon Xflow обеспечивает анализ данных в режиме реального времени, что позволяет более эффективно управлять производственными процессами и снизить операционные расходы.
Revontium | Zetium | Epsilon range | Epsilon Xflow | 2830 ZT | Axios FAST | |
Тип измерения | ✘ | ✔ | ✔ | ✘ | ✔ | ✔ |
Метрология тонких пленок | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ |
Элементный анализ | ✔ | ✔ | ✔ | ✘ | ✔ | ✘ |
Обнаружение и анализ загрязнений | ✔ | ✔ | ✔ | ✘ | ✔ | ✔ |
Количественное определение элементов | ✔ | ✔ | ✔ | ✘ | ✔ | ✘ |
Химическая идентификация | ✘ | ✘ | ✘ | ✘ | ✔ | ✘ |
Технология | ||||||
Рентгеновская флуоресценция (XRF) | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ | ✔ |
Волновая дисперсионная рентгеновская флуоресценция (WDXRF) | ✘ | ✔ | ✘ | ✘ | ✔ | ✔ |
Энергодисперсионная рентгеновская флуоресценция (EDXRF) | ✔ | ✘ | ✔ | ✔ | ✘ | ✘ |
Спектр элементов | Na-Am | Be-Am | F-Am | Na-Am | B-Am | B-Am |
LLD | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
Разрешающая способность (Mn-Ka) | 145eV | 35eV | 145eV | 135eV | 35eV | 35eV |
Пропускная способность образца | до - 200 за 8 годин на день | до - 240 за 8 годин на добу | до - 160 за 8 годин на добу | он-лайн/безперервно | до 25 пластин на годину | до - 480 за 8 годин на добу |
Формат | Компактный | Напольный WDXRF | Настольный EDXRF | В реальном времени | Наполовину | Напольный WDXRF |