Вакуумная печь позволяет проводить термообработку в вакууме. Различают вакуумные печи с холодной и горячей стенкой. Вакуумные печи с холодной стенкой работают с герметичной камерой с двойными стенками с водяным охлаждением, благодаря которому стенки камеры остаются холодными на протяжении всего процесса термообработки. Нагревательные элементы расположены внутри рабочей камеры. С другой стороны, вакуумные печи с горячими стенками работают с нагревательными элементами, расположенными за пределами рабочей камеры (например, керамическая или кварцевая трубка), в то время как камера нагревается сама по себе.