Универсальные дифорактометры (XRD) X'Pert³ MRD и X'Pert³ MRD XL
Артикул: X'Pert³
Длинная и успешная история дифрактометров для исследования материалов (MRD) Malvern Panalytical продолжается новым поколением - X'Pert³ MRD и X'Pert³ MRD XL. Улучшенная производительность и надежность новой платформы добавили больше аналитических возможностей и мощности для исследований рассеивания рентгеновских лучей:
- современном материаловедении
- научная и промышленная технология тонких пленок
- метрологические характеристики в разработке полупроводниковых процессов
Обе системы имеют одинаковый широкий спектр применений с полным картированием пластин до 100 мм (X'Pert³ MRD) или 200 мм (X'Pert³ MRD XL).
Преимущества
Гибкость системы, ориентированная на будущее
Дифрактометры X'Pert³ MRD предлагают передовые и инновационные решения для рентгеновской дифракции от исследований до разработки процессов и управления ими. Используемые технологии позволяют легко модернизировать все системы ко всем существующим опциям и новым разработкам в области аппаратного и программного обеспечения в будущем.
X'Pert³ MRD
Стандартная версия для исследований и разработок для работы с тонкопленочными образцами, подложками (полное картирование до 100 мм) и твердыми материалами. Возможность анализа с высоким разрешением улучшается благодаря выдающейся точности нового гониометра высокого разрешения, использующего энкодеры Heidenhain.X'Pert³ MRD
Стандартная версия для исследований и разработок для работы с тонкопленочными образцами, подложками (полное картирование до 100 мм) и твердыми материалами. Возможность анализа с высоким разрешением улучшается благодаря выдающейся точности нового гониометра высокого разрешения, использующего энкодеры Heidenhain.
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD XL отвечает всем требованиям к рентгеноструктурному анализу с высоким разрешением в области полупроводников, тонких пленок и новейших материалов. Возможно полное картирование подложек до 200 мм. Версия X'Pert3 имеет самое длинное время подъема компонентов падающего луча (CRISP) и максимальное время безотказной работы благодаря пневматическим затворам и аттенюаторам луча.
Облегчая анализ подложек диаметром до 300 мм, благодаря сложному автоматическому загрузчику подложек, X'Pert³ MRD XL становится передовым инструментом для контроля качества промышленных тонкослойных структур.
X'Pert³ Extended MRD (XL)
X'Pert³ Extended MRD (XL) повышает универсальность линейки систем X'Pert³ MRD. Дополнительная монтажная платформа PreFIX позволяет устанавливать рентгеновское зеркало и монохроматор высокого разрешения в линию, значительно увеличивая интенсивность падающего луча.
Благодаря концепции PreFIX можно получить выгоду от повышенной универсальности применения без ущерба для качества данных, рентгеновской дифракции высокого разрешения с высокой интенсивностью, сокращения времени измерения для таких измерений, как взаимное картографирование пространства, а также перестраиваться со стандартной на расширенную конфигурацию за считанные минуты. С PreFIX 2-го поколения реконфигурация является простой, а позиционирование оптики является более точным, чем когда-либо.
X'Pert³ MRD (XL) In-plane
Система X'Pert³ MRD (XL) для плоской дифракции позволяет измерять дифракцию от плоскостей кристаллической решетки, которые перпендикулярны к поверхности образца.
Геометрия стандартной и плоской дифракции в одной системе и широкий спектр дифракционных экспериментов на поликристаллических и очень совершенных тонких пленках - это лишь два из многих преимуществ.
Smart Manager
Раскройте потенциал ваших данных
До сих пор данные приборов слишком часто застревали в ручных записях, электронных таблицах или на локальных серверах. Подключив X'Pert3 MRD к Smart Manager и постоянно анализируя данные прибора в облаке, вы сможете полностью раскрыть его потенциал. Это лишь одно из наших цифровых решений, которые являются частью Smart Manager от Malvern Panalytical.
Техническая характеристика
| Корпус | X'Pert³ MRD | X'Pert³ MRD XL |
| Размеры | 1370 (ш) x 1131 (г) x 1947 (в) мм
Система на колесах для легкой установки и перемещения | 1370 (ш) x 1131 (г) x 1972 (в) мм
Система на колесах для легкой установки и перемещения |
| Вес | 1150 кг | 1150 кг |
| Регламент | Отвечает всем соответствующим нормам электрической, механической и рентгеновской безопасности со всеми типами анодов | Отвечает всем соответствующим нормам электрической, механической и рентгеновской безопасности со всеми типами анодов |
| Гониометр | ||
| Тип | Горизонтальный гониометр | Горизонтальный гониометр |
| Радиус | 320 мм | 420 мм |
| Максимальный диапазон использования | -40°< 2θ <160° (в зависимости от аксессуаров) | -40°< 2θ <160° (в зависимости от аксессуаров) |
| Энкодеры | Система прямого оптического кодирования для высокой точности гониометра в течение всего срока службы с использованием точно выверенных энкодеров Heidenhain | Система прямого оптического кодирования для высокой точности гониометра в течение всего срока службы с использованием точно выверенных энкодеров Heidenhain |
| Точность на дальних дистанциях | ±0.0025° | ±0.0025° |
| Точность в малом диапазоне (0,5°) | ±0.0004° | ±0.0004° |
| Точность воспроизведения угла наклона | < 0.0002° | < 0.0002° |
| Источник рентгеновского излучения / Детекторы / Этапы | ||
| Приметки |
|
|
| Вращение Chi | ±92° | ±92° |
| Вращение Phi | 2 x 360° | 2 x 360° |
| Наименьший размер прироста | 0.0001° | 0.0001° |
Аксессуари
Детектор PIXcel3D
Первый детектор для получения 0D-1D-2D и 3D-данных в Вашем дифрактометре
PIXcel3D - это уникальный 2D твердотельный гибридный пиксельный детектор. Каждый пиксель имеет размер 55 микрон x 55 микрон, а матрица детектора - 256 x 256 пикселей. Детектор, который теперь базируется на технологии Medipix3, обеспечивает непревзойденное соотношение сигнал/шум благодаря функции точечного распределения в один пиксель и нескольким уровням энергетической дискриминации.
Технология Medipix3 обеспечивает
- Увеличение диапазона энергий обнаружения от Cr до Cu
- Улучшенное энергетическое разрешение
- Увеличение диапазона линейности
- Улучшенная эффективность обнаружения
- Задокументированные (опубликованные) исследования радиационной твердости
Техническая характеристика
| Тип | PIXcel3D детектор с Medipix3 |
| Размер окна | 14 мм x 14 мм |
| Коэффициент полезного действия Cu Kα | >95 % |
| 99% Диапазон линейных отклонений | 0 - 6,5 x 109 cps - общий
0 - 25 x 106 cps - колонка |
| Энергетическое разрешение вокруг Cu Kα | 18% |
| Максимальная скорость подсчета | 30 x 109 cps - общий
120 x 106 cps - колонка |
| Максимальный уровень фона | <0.5 cps - общий |
| Активная длинна | 14 мм |
| Минимальный размер шага | 0,0016º 2θθ при радиусе гониометра 240 мм |
| Поддерживаемые длины волн | Cu, Co, Fe, Mn, Cr |
| Функция точечного рассеивания (PSF) | 1 пиксель (FWHM) |
| Дефектные пиксели | < 1% |