Дифрактометр X'Pert³

Артикул: X'Pert³
Універсальний дифрактометр XRD для досліджень і розробок
Довга і успішна історія дифрактометрів для дослідження матеріалів (MRD) Malvern Panalytical продовжується новим поколінням - X'Pert³ MRD і X'Pert³ MRD XL. Покращена продуктивність і надійність нової платформи додали більше аналітичних можливостей і потужності для досліджень розсіювання рентгенівських променів в..:
  • сучасному матеріалознавстві
  • наукова та промислова технологія тонких плівок
  • метрологічні характеристики в розробці напівпровідникових процесів
Обидві системи мають однаковий широкий спектр застосувань з повним картуванням пластин до 100 мм (X'Pert³ MRD) або 200 мм (X'Pert³ MRD XL).

Переваги

Гнучкість системи, орієнтована на майбутнє
Дифрактометри X'Pert³ MRD пропонують передові та інноваційні рішення для рентгенівської дифракції від досліджень до розробки процесів і управління ними. Технології, що використовуються, дозволяють легко модернізувати всі системи до всіх існуючих опцій і нових розробок в області апаратного і програмного забезпечення в майбутньому. 
X'Pert³ MRD
Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.X'Pert³ MRD
Стандартна версія для досліджень і розробок для роботи з тонкоплівковими зразками, підкладками (повне мапування до 100 мм) і твердими матеріалами. Можливість аналізу з високою роздільною здатністю покращується завдяки видатній точності нового гоніометра з високою роздільною здатністю, що використовує енкодери Heidenhain.
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD XL відповідає всім вимогам до рентгеноструктурного аналізу з високою роздільною здатністю в галузі напівпровідників, тонких плівок і новітніх матеріалів. Можливе повне картування підкладок до 200 мм. Версія X'Pert3 має найдовший час підйому компонентів падаючого променя (CRISP) і максимальний час безвідмовної роботи завдяки пневматичним затворам і атенюаторам променя.
Полегшуючи аналіз підкладок діаметром до 300 мм, завдяки складному автоматичному завантажувачу підкладок, X'Pert³ MRD XL стає передовим інструментом для контролю якості промислових тонкошарових структур. 
X'Pert³ Extended MRD (XL)
X'Pert³ Extended MRD (XL) підвищує універсальність лінійки систем X'Pert³ MRD. Додаткова монтажна платформа PreFIX дозволяє встановлювати рентгенівське дзеркало і монохроматор з високою роздільною здатністю в лінію, значно збільшуючи інтенсивність падаючого променя.
Завдяки концепції PreFIX можна отримати вигоду від підвищеної універсальності застосування без шкоди для якості даних, рентгенівської дифракції високої роздільної здатності з високою інтенсивністю, скорочення часу вимірювання для таких вимірювань, як взаємне картографування простору, а також перебудовуватися зі стандартної на розширену конфігурацію за лічені хвилини. З PreFIX 2-го покоління реконфігурація є простою, а позиціонування оптики є більш точним, ніж будь-коли. 
X'Pert³ MRD (XL) In-plane
Система X'Pert³ MRD (XL) для плоскої дифракції дозволяє вимірювати дифракцію від площин кристалічної решітки, які перпендикулярні до поверхні зразка.
Геометрія стандартної і плоскої дифракції в одній системі і широкий спектр дифракційних експериментів на полікристалічних і дуже досконалих тонких плівках - це лише дві з багатьох переваг.

Smart Manager

Розкрийте потенціал ваших даних
До цього часу дані приладів занадто часто застрягали в ручних записах, електронних таблицях або на локальних серверах. Підключивши X'Pert3 MRD до Smart Manager і постійно аналізуючи дані приладу в хмарі, ви зможете повністю розкрити його потенціал. Це лише одне з наших цифрових рішень, які є частиною Smart Manager від Malvern Panalytical.

Технічна характеристика 

КорпусX'Pert³ MRDX'Pert³ MRD XL
Розміри1370 (ш) x 1131 (г) x 1947 (в) мм
Система на колесах для легкого встановлення та переміщення
1370 (ш) x 1131 (г) x 1972 (в) мм
Система на колесах для легкого встановлення та переміщення
Вага  1150 кг1150 кг
РегламентВідповідає всім відповідним світовим нормам електричної, механічної та рентгенівської безпеки з усіма типами анодівВідповідає всім відповідним світовим нормам електричної, механічної та рентгенівської безпеки з усіма типами анодів
Гоніометр
ТипГоризонтальний гоніометрГоризонтальний гоніометр
Радіус 320 мм420 мм
Максимальний діапазон використання-40°< 2θ <160° (залежно від аксесуарів)-40°< 2θ <160° (залежно від аксесуарів)
ЕнкодериСистема прямого оптичного кодування для високої точності гоніометра протягом усього терміну служби з використанням точно вивірених енкодерів HeidenhainСистема прямого оптичного кодування для високої точності гоніометра протягом усього терміну служби з використанням точно вивірених енкодерів Heidenhain
Точність на дальніх дистанціях±0.0025°±0.0025°
Точність у малому діапазоні (0,5°)±0.0004° ±0.0004° 
Точність відтворення кута нахилу< 0.0002°< 0.0002°
Джерело рентгенівського випромінювання / Детектори / Етапи
Примітки
  • Повністю керамічні рентгенівські трубки виробляються на спеціалізованому заводі Malvern Panalytical в умовах чистого приміщення
  • Заміна лінійного фокуса на точковий без використання інструментів
  • Генератор потужністю 3 кВт, що підтримує всі наявні та майбутні рентгенівські трубки
  • Гібридні піксельні детектори з найменшим розміром пікселя (55 x 55 мкм2), доступним на ринку
  • 5-осьова люлька з можливістю переміщення по осях x, y 100 x 100 мм2
  • Повністю керамічні рентгенівські трубки виробляються на спеціалізованому заводі Malvern Panalytical в умовах чистого приміщення
  • Заміна лінійного фокуса на точковий без використання інструментів
  • Генератор потужністю 3 кВт, що підтримує всі наявні та майбутні рентгенівські трубки
  • Гібридні піксельні детектори з найменшим розміром пікселя (55 x 55 мкм2), доступним на ринку
  • 5-осьова люлька з можливістю переміщення по осях x, y 100 x 100 мм2
Обертання Chi±92°±92°
Обертання Phi2 x 360°2 x 360°
Найменший розмір приросту0.0001°0.0001°

Аксесуари

Детектор PIXcel3D

Перший детектор для отримання 0D-1D-2D і 3D-даних у Вашому дифрактометрі
PIXcel3D - це унікальний 2D твердотільний гібридний піксельний детектор. Кожен піксель має розмір 55 мікрон x 55 мікрон, а матриця детектора - 256 x 256 пікселів. Детектор, який тепер базується на технології Medipix3, забезпечує неперевершене співвідношення сигнал/шум завдяки функції точкового розподілу в один піксель і декільком рівням енергетичної дискримінації.
Технологія Medipix3 забезпечує
  • Збільшення діапазону енергій виявлення від Cr до Cu
  • Покращену енергетичну роздільну здатність
  • Збільшення діапазону лінійності
  • Покращена ефективність виявлення
  • Задокументовані (опубліковані) дослідження радіаційної твердості.

Технічна храктеристика 

ТипPIXcel3D детектор з Medipix3
Розмір вікна14 мм x 14 мм
Коефіцієнт корисної дії Cu Kα>95 %
99% Діапазон лінійних відхилень0 - 6,5 x 109 cps - загальний
0 - 25 x 106 cps - колонка
Енергетична роздільна здатність навколо Cu Kα18%
Максимальна швидкість підрахунку30 x 109 cps - загальний
120 x 106 cps - колонка
Максимальний рівень фону<0.5 cps - загалом
Активна довжина14 мм
Мінімальний розмір кроку0,0016º 2θθ при радіусі гоніометра 240 мм
Підтримувані довжини хвильCu, Co, Fe, Mn, Cr
Функція точкового розсіювання (PSF)1 піксель (FWHM)
Дефектні пікселі< 1%