Рентгенофлуоресцентный спектрометр 2830 ZT
Артикул: 2830 ZT
Анализатор пластин 2830 ZT с дисперсионной рентгеновской флуоресценцией (WDXRF) предлагает наилучшие возможности для измерения толщины и состава пленок. Разработанный специально для полупроводниковой промышленности и производства накопителей данных, анализатор 2830 ZT позволяет определять состав, толщину, уровень легирования и однородность поверхности для широкого спектра пластин до 300 мм.
Особенности
Непрерывная производительность и скорость
Рентгеновская трубка SST-mAX мощностью 4 кВт оснащена революционной технологией ZETA, которая значительно уменьшает влияние износа рентгеновской трубки. Эти характеристики "новой трубки" сохраняются в течение всего срока службы трубки, а вместе с высокой чувствительностью технология ZETA гарантирует быстрый анализ и короткое время измерений в течение всего срока службы трубки. Технология ZETA значительно уменьшает потребность в коррекции дрейфа и повторной калибровке, что повышает производительность и время бесперебойной работы прибора.
Максимальное время безотказной работы
Обычные рентгеновские трубки страдают от испарения вольфрама, что вызывает отложения на внутренней стороне бериллиевого окна трубки. Приборы, использующие такие рентгеновские трубки, нуждаются в регулярной коррекции дрейфа для компенсации снижения интенсивности, особенно для светлых элементов.
Внедрение трубки SST-mAX в 2830 ZT решает эту проблему дрейфа, тем самым максимизируя время безотказной работы и поддерживая точность прибора во времени.
Простой в использовании
2830 ZT поставляется с передовым программным обеспечением SuperQ, которое включает в себя FP Multi, программный пакет, специально разработанный для многослойного анализа. Пользовательский интерфейс программного обеспечения гарантирует, что даже неопытные операторы могут проводить полностью автоматизированный анализ фундаментальных параметров многослойных образцов.
Программное обеспечение SuperQ имеет широкий спектр простых в использовании модулей, предназначенных для гибкой работы исследователей и инженеров. Переключение между рецептами является простым, так же как и настройка параметров оборудования в соответствии с предпочтениями пользователя.
FALMO-2G
FALMO-2G легко интегрируется в любую лабораторию или завод: от простой ручной загрузки носителя до полной автоматизации. Полностью гибкая конструкция позволяет руководителю лаборатории выбирать между портами загрузки FOUP, SMIF или открытыми кассетами, с одной или двумя конфигурациями портов загрузки. Различные конфигурации FALMO-2G поддерживаются программным обеспечением, совместимым со стандартом GEM300. FALMO-2G занимает минимум места без ущерба для гибкости и функциональности.
Применения
Гибкая работа
Программное обеспечение SuperQ имеет широкий спектр простых в использовании модулей, предназначенных для гибкой работы исследователей и инженеров. Переключаться между программами легко, равно как и настраивать параметры оборудования в соответствии с предпочтениями пользователя.
Спецификации
| Работа с образцами | Рентгеновская трубка | Каналы | Установка |
| Пластины 100 - 300 мм прямой загрузкой; меньшие размеры можно обрабатывать с помощью специальных адаптеров | SST-mAX75, конический наконечник, труба с торцевым окном, SST-mAX50 - опция | До 24 фиксированных каналов | Совместимость с SEMI S2/S8 |
| Доступны варианты загрузки FOUP, SMIF, открытая кассета и ручная загрузка | Размер точки измерения 40 и 10 мм; возможны другие размеры точек | Максимум 2 гониометра | Полная совместимость с SECS/GEM |
| Производительность до 25 пластин в час | Технология Zeta | Сверхвысокопроизводительный канал бора для высочайшей чувствительности и пропускной способности | |
| Специальные высокопроизводительные каналы для высокой чувствительности и высокой пропускной способности доступны для B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix | |||
| Невоспламеняющийся аргон/метан | |||
| Счетчик расхода | |||
| Герметичный счетчик | |||
| Сканер 10 º-100 º 2θ | |||
| Сцинтилляция с окном Be 300 мкм |
Программное обеспечение
DifferAction
DifferAction - это дополнительное расширение для нашей платформы спектрометра Wafer Analyzer 2830 ZT с программным обеспечением SuperQ, которое позволяет автоматически оптимизировать угол наклона подложки для более точного рентгенофазового анализа.
ToolMatch
Рассчитывая регрессию систематических различий в анализе полупроводников, это программное обеспечение позволяет автоматически настраивать результаты на основе коррекции ToolMatch между анализаторами подложек.
Это идеальное решение для обеспечения согласованных результатов как в пределах одного участка, так и на разных участках.