Рентгенофлуоресцентний спектрометр 2830 ZT
Артикул: 2830 ZT
Удосконалене рішення для напівпровідникової тонкоплівкової металографії
Аналізатор пластин 2830 ZT з дисперсійною рентгенівською флуоресценцією (WDXRF) пропонує найкращі можливості для вимірювання товщини і складу покриттів. Розроблений спеціально для напівпровідникової промисловості і виробництва накопичувачів даних, спектрометр 2830 ZT дозволяє визначати склад, товщину, рівень легування і однорідність поверхні для широкого спектру матеріалів товщиною до 300 мм.
Особливості
Безперервна продуктивність і швидкість
Рентгенівська трубка SST-mAX потужністю 4 кВт оснащена революційною технологією ZETA, яка значно зменшує вплив зносу рентгенівської трубки. Ці характеристики "нової трубки" зберігаються протягом усього терміну служби трубки, а разом з високою чутливістю технологія ZETA гарантує швидкий аналіз і короткий час вимірювань протягом усього терміну служби трубки. Технологія ZETA значно зменшує потребу в корекції дрейфу і повторному калібруванні, що підвищує продуктивність і час безперебійної роботи приладу.
Максимальний час безвідмовної роботи
Звичайні рентгенівські трубки страждають від випаровування вольфраму, що спричиняє відкладення на внутрішній стороні берилієвого вікна трубки. Прилади, що використовують такі рентгенівські трубки, потребують регулярної корекції дрейфу для компенсації зниження інтенсивності, особливо для світлих елементів.
Впровадження трубки SST-mAX в 2830 ZT вирішує цю проблему дрейфу, тим самим максимізуючи час безвідмовної роботи і підтримуючи точність приладу в часі.
Простий у використанні
2830 ZT поставляється з передовим програмним забезпеченням SuperQ, яке включає в себе FP Multi, програмний пакет, спеціально розроблений для багатошарового аналізу. Користувацький інтерфейс програмного забезпечення гарантує, що навіть недосвідчені оператори можуть проводити повністю автоматизований аналіз фундаментальних параметрів багатошарових зразків.
Програмне забезпечення SuperQ має широкий спектр простих у використанні модулів, призначених для гнучкої роботи дослідників та інженерів. Перемикання між рецептами є простим, так само як і налаштування параметрів обладнання відповідно до уподобань користувача.
FALMO-2G
FALMO-2G легко інтегрується в будь-яку лабораторію або завод: від простого ручного завантаження носія до повної автоматизації. Повністю гнучка конструкція дозволяє керівнику лабораторії вибирати між портами завантаження FOUP, SMIF або відкритими касетами, з однією або двома конфігураціями портів завантаження. Різні конфігурації FALMO-2G підтримуються програмним забезпеченням, сумісним зі стандартом GEM300. FALMO-2G займає мінімум місця без шкоди для гнучкості та функціональності.
Застосування
Гнучка робота
Програмне забезпечення SuperQ має широкий спектр простих у використанні модулів, призначених для гнучкої роботи дослідників та інженерів. Перемикатися між програмами легко, так само як і налаштовувати параметри обладнання відповідно до уподобань користувача.
Специфікації
| Робота зі зразками | Рентгенівська трубка | Канали | Встановлення |
| Пластини 100 - 300 мм прямим завантаженням; менші розміри можна обробляти за допомогою спеціальних адаптерів | SST-mAX75, конічний наконечник, труба з торцевим вікном, SST-mAX50 - опція | До 24 фіксованих каналів | Сумісність з SEMI S2/S8 |
| Доступні варіанти завантаження FOUP, SMIF, відкрита касета та ручне завантаження | Розмір точки вимірювання 40 і 10 мм; можливі інші розміри точок | Максимум. 2 гоніометра | Повна сумісність з SECS/GEM |
| Продуктивність до 25 пластин на годину | Технологія Zeta | Надвисокопродуктивний канал бору для найвищої чутливості та пропускної здатності | |
| Спеціальні високопродуктивні канали для високої чутливості та високої пропускної здатності доступні для B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix | |||
| Незаймистий аргон/метан | |||
| Лічильник витрати | |||
| Герметичний лічильник | |||
| Сканер 10 º-100 º 2θ | |||
| Сцинтиляція з вікном Be 300 мкм |
Програмне забезпечення
DifferAction
DifferAction - це додаткове розширення для нашої платформи спектрометра Wafer Analyzer 2830 ZT з програмним забезпеченням SuperQ, яке дозволяє автоматично оптимізувати кут нахилу підкладки для більш точного рентгенофазового аналізу.
ToolMatch
Розраховуючи регресію систематичних відмінностей в аналізі напівпровідників, це програмне забезпечення дозволяє автоматично налаштовувати результати на основі корекції ToolMatch між аналізаторами підкладок.
Це ідеальне рішення для забезпечення узгоджених результатів як в межах однієї дільниці, так і на різних ділянках.