Трубчатая печь AZ с восемью зонами
Артикул: AZ
AZ - это восьмизонная трубчатая печь с контролируемыми температурными профилями. Эти зоны можно использовать для создания температурных профилей по всей длине нагреваемой печи.
Благодаря восьми зонам, толстой изоляции и высокосимметричной обмотке нагревательных элементов по всей печи AZ достигается однородность температуры более ± 5 °C. Ключевым преимуществом восьми зон с индивидуальным контролем является увеличение равномерной длины внутри печи. Кроме того, температурный профиль можно точно контролировать для линейных повышений, пиков или других профилей, определенных пользователем.
Одним из процессов, который хорошо подходит для трубчатой печи AZ, является химическое осаждение из паровой фазы, поскольку в печи можно создать температурный градиент для испарения материала-прекурсора в конечной зоне с высокой температурой и сублимации пара на подложку в конечной зоне с более низкой температурой. Все зоны контролируются и отслеживаются индивидуально с помощью термопар.
Стандартные функции
- Подобная конструкция к трубчатым печам FHA / FHC
- Восьмизонная регулировка для переменных профилей нагрева
- Градиенты, линейное увеличение/уменьшение и т.д. температуры по нагреваемой длине
- Расширенное равномерное распределение температуры
- Короткое время нагрева и охлаждения
- Автоматическая работа
- Запись данных для управления качеством
- Повторная передача заданного значения
Дополнительные возможности (укажите при заказе)
- Доступен широкий спектр сложных цифровых контроллеров, многосегментных программаторов и регистраторов данных. Они могут быть оснащены интерфейсами RS232, RS485 или Ethernet - больше информации
- Защита от перегрева (рекомендуется для защиты ценного содержимого и для работы без присмотра)
- Широкий выбор диаметров трубок и материалов: например, кварц, керамика, металл
- L-образная подставка для вертикального использования
- Изоляционные пробки и радиационные экраны для предотвращения потерь тепла и улучшения однородности
- Доступны сборки с модифицированной атмосферой и вакуумом - больше информации
- Вакуумные пакеты с выбором пластинчато-роторного или турбомолекулярного насоса доступны для печей с внутренним диаметром труб от 60 мм и выше
- Полная автоматизация с помощью системы управления Siemens SPS с сенсорной панелью и регулятором массового потока для газов по запросу
- Другие диаметры и длины нагрева по запросу
Техническая характеристика
- изоляция из керамического волокна
- внешний каркас
- восемь термопар для контроля
- полезный объем
Керамическая волокнистая изоляция состоит из нескольких слоев и собирается с особой тщательностью, чтобы обеспечить отсутствие зазоров между каждым из слоев. Слои изоляции расположены с определенным перекрытием, чтобы обеспечить отличную однородность температуры внутри печи.
Модуль управления очень компактен и встроен в опорную раму печи. Интерфейс сенсорной панели обеспечивает удобный и интуитивно понятный контроль рабочих параметров печи.
Водяное охлаждение не требуется, поскольку корпус расположен на расстоянии от изоляции таким образом, что он охлаждается за счет конвективного охлаждения. Единственный случай, когда требуется водяное охлаждение - это использование с охлаждаемыми фланцами рабочих трубок, например, для сборки вакуумного насосного агрегата.