AZ - це восьмизонна трубчаста піч з контрольованими температурними профілями. Ці зони можна використовувати для створення температурних профілів по всій довжині печі, що нагрівається.
Завдяки восьми зонам, товстій ізоляції та високосиметричній обмотці нагрівальних елементів по всій печі AZ досягається однорідність температури понад ± 5 °C. Ключовою перевагою восьми зон з індивідуальним контролем є збільшення рівномірної довжини всередині печі. Крім того, температурний профіль можна точно контролювати для лінійних підвищень, піків або інших профілів, визначених користувачем.
Одним з процесів, який добре підходить для трубчастої печі AZ, є хімічне осадження з парової фази, оскільки в печі можна створити температурний градієнт для випаровування матеріалу-прекурсору в кінцевій зоні з високою температурою і сублімації пари на підкладку в кінцевій зоні з більш низькою температурою. Всі зони контролюються і відстежуються індивідуально за допомогою термопар.
Стандартні функції
- Подібна конструкція до трубчастих печей FHA / FHC
- Восьмизонне регулювання для змінних профілів нагріву
- Градієнти, лінійне збільшення/зменшення і т.д. температури по довжині, що нагрівається
- Розширений рівномірний розподіл температури
- Короткий час нагрівання та охолодження
- Автоматична робота
- Запис даних для управління якістю
- Повторна передача заданого значення
Додаткові можливості (вкажіть під час замовлення)
- Доступний широкий спектр складних цифрових контролерів, багатосегментних програматорів і реєстраторів даних. Вони можуть бути оснащені інтерфейсами RS232, RS485 або Ethernet - більше інформації
- Захист від перегріву (рекомендується для захисту цінного вмісту та для роботи без нагляду)
- Широкий вибір діаметрів трубок і матеріалів: наприклад, кварц, кераміка, метал
- L-подібна підставка для вертикального використання
- Ізоляційні пробки та радіаційні екрани для запобігання втрат тепла і поліпшення однорідності
- Доступні збірки з модифікованою атмосферою і вакуумом - більше інформації
- Вакуумні пакети з вибором пластинчато-роторного або турбомолекулярного насоса доступні для печей з внутрішнім діаметром труб від 60 мм і вище
- Повна автоматизація за допомогою системи управління Siemens SPS з сенсорною панеллю і регулятором масового потоку для газів за запитом
- Інші діаметри та довжини нагрівання за запитом
Технічна характеристика
- ізоляція з керамічного волокна
- зовнішній каркас
- вісім термопар для контролю
- корисний об'єм
Керамічна волокниста ізоляція складається з декількох шарів і збирається з особливою ретельністю, щоб забезпечити відсутність зазорів між кожним з шарів. Шари ізоляції розташовані з певним перекриттям, щоб забезпечити відмінну однорідність температури всередині печі.
Модуль управління дуже компактний і вбудований в опорну раму печі. Інтерфейс сенсорної панелі забезпечує зручний та інтуїтивно зрозумілий контроль робочих параметрів печі.
Водяне охолодження не потрібне, оскільки корпус розташований на відстані від ізоляції таким чином, що він охолоджується за рахунок конвективного охолодження. Єдиний випадок, коли потрібне водяне охолодження - це використання з охолоджуваними фланцями робочих трубок, наприклад, для складання вакуумного насосного агрегату.