Вакуумна піч дає змогу проводити термообробку у вакуумі. Розрізняють вакуумні печі з холодною і гарячою стінкою. Вакуумні печі з холодною стінкою працюють з герметичною камерою з подвійними стінками з водяним охолодженням, завдяки якому стінки камери залишаються холодними протягом усього процесу термообробки. Нагрівальні елементи розташовані всередині робочої камери. З іншого боку, вакуумні печі з гарячими стінками працюють з нагрівальними елементами, розташованими за межами робочої камери (наприклад, керамічна або кварцова трубка), тоді як камера нагрівається сама.